英国牛津 等离子设备 - Plasmalab System100系列产品
Plasmalab System100是当今世界上半导体光电子行业的主流机型,预真空锁(Load Lock)的配置使我们客户的产品质量得到了很大的提高。
该设备同样为模块化设计,可以根据客户的需要配置成ICP模式、PECVD模式和多真空腔模式,同时载片量也可以根据需求从一次处理单片2"直到一次处理7片2"。
Plasmalab System100系列 - 多真空腔系统配置产品介绍
模块化设计的Plasmalab System100系统,同时也可以配置成片盒到片盒(Cassette to Cassette)的多真空腔机型,从而可实现真正意义上的大规模生产。
System100多真空腔
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