TY10

SE500adv组合式椭偏仪

ZX21

订货号：zy412757 品牌：SENTECH 产地：德国市场价：折扣价：发货周期：现货或5天内

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SE500adv组合式椭偏仪迄今为止最简单易用的椭偏仪
? SE 500adv结合椭偏测量和反射测量
? 可消除椭偏测量对透明膜厚度的周期不确定性
? 膜厚测量范围可扩展至25000 nm.
? 激光波长632.8 nm
? 反射计光谱范围450 nm-920 nm
? 光斑直径80 μm
? 150 mm (z-tilt)样品台
? 角度计，可变入射角度，步进5°
? LAN连接电脑

　　CER组合椭偏仪SE 500advanced可作为激光椭偏仪，CER组合式椭偏仪或反射膜厚仪FTPadvanced操作。比常规激光椭偏仪有更好的适应性。

作为椭偏仪操作
　　单角度和多角度测量，可测量最多三层膜的厚度和光学参数，测量波长632.8nm，有最高的测量精度。
作为反射式膜厚仪FTPadvanced操作
　　白光正入射测量，可测量透明膜或弱吸收薄膜，厚度最大可达25μm。配置更先进的软件FTPexpert后能够测量多层膜。
作为CER组合椭偏仪操作
　　解决了透明膜的周期不确定性问题，并由于确定的膜厚周期，折射率测量精度显著增加。可测量透明膜的Cauchy系数。

技术指标:

Ψ,Δ精度，90°位置透射测量:	δ(Ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°
长时稳定性:	δ(Ψ)=±0.01°, δ(Δ)=±0.1°
膜厚精度:	0.1 ? for 100 nm SiO2 on Si
折射率精度:	5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si

精度定义为30次测量的标准差
长时稳定性为90°位置时24小时内测量的差值

选项
? 手动x-y样品台，行程50 mm
? Mapping地貌图扫描 (x-y, 最大200 mm, 真空吸附)
? 摄像选项，用于样品校准和表面监视
? 30 μm微细光斑
? 第二激光波长1550
? 自动对焦
? SIMULATION软件

SE500adv组合式椭偏仪
购买提示
1.阁下有任何产品问题请致电400-663-9117.
2.中仪将提供北京、上海、深圳、南京、重庆送货上门服务.
3.我们提供SE500adv组合式椭偏仪计量送检，在签收前请详细核查资料信息.
4.TY10SE500adv组合式椭偏仪价格根据配置和货期不同而不同，具体以合同为准.
5.我们为阁下提供保修TY10SE500adv组合式椭偏仪售后维修服务，提供后期技术支持.
6.阁下对TY10SE500adv组合式椭偏仪使用方法等有需求时，将为阁下找到SE500adv组合式椭偏仪说明书.

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电力测试仪器

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