SE401在线式激光椭偏仪 SE 401是出色的单波长椭偏仪, 使用旋转分析器,对测量椭偏角度有高重复性和长期稳定性,快速测量数据,基于windows操作系统的软件使测量精确、快速、简单。SE 401过程控制椭偏仪适用于监控动态过程,如不同环境下单层膜的生长或蚀刻过程。
规格
?激光波长 632.8 nm
?测量时间最小80 ms(测量Ψ,Δ数据)。
?接口配置,用于将椭偏仪安装在反应腔上。
?激光聚焦高度调节
?应力释放窗口
?基于windows系统的操作分析软件,在线监控椭偏测量并计算单层膜的膜厚、折射率。
选项
?高真空应力释放窗口
?使椭偏仪正面向上的附加置换单元
?双波长激光 (可选405 nm或1550 nm)
?角度计可调节入射角,步进值5度。载物台直径150mm
?TIMECALC 软件,动态椭偏测量模拟和分析软件。