SE850UV/VIS/NIR光谱椭偏仪光谱范围: 350 nm - 1700 nm
SE 850是SENTECH公司的紫外-可见光-近红外光谱椭偏仪,是基于紫外-可见光波段快速二极管阵列探测器和近红外波段快速干涉调制探测的高性能光谱椭偏仪,能够快速获得数据并在全波段解析。应用FT-IR光谱仪不但能够提高测量速度、分辨率和信噪比,还能够提供自动波长校准。
主要应用
?测量单层膜或多层膜的厚度和折射率
?在紫外-可见光-近红外波段测量材料的光学性质
?测量厚度梯度
?测量膜表面和界面间的粗糙程度
?确定材料成分
?分析较厚的膜,厚度范围可到30微米
?适合测量In搀杂的半导体材料 (InP, InGaAs, InGaAlAs, InN)
选项
?紫外光谱扩展选项,280 - 850 nm
?近红外光谱扩展选项,1700 - 2300 nm
?计算机控制高性能消色差补偿器
?计算机控制起偏器
?计算机控制自动角度计, 40o-90o, 精度0.01o
?手动x-y载物台,150 mm行程
?电机驱动x-y载物台,行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件
?透射测量样品夹具
?摄象头选项,用于样品对准和表面检测
?液体膜测量单元
?反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米
?微细光斑选项
?自动对焦选项,结合地貌图扫描选项
?SENTECH标准样片
?附加许可,使SpectrRay II软件可以用于多台电脑
光谱椭偏仪软件SpectraRay II
基于windows系统的 SpectraRay II 操作软件包括一个全面的的建模、模拟和拟合软件包,操作向导,自动输出结果,单键操作,使得软件界面友好并且椭偏仪操作简易。