专为高纯气体运用场合,测量微量湿度水平的一体式变送器。
特点:
◆ 安装简便
◆ 高度的稳定性和重复性
◆ 测量范围达-120°C露点(<1ppbV)
◆ 100级洁净室净化包装
典型运用:
◆ 在线检测半导体工业高纯气的湿度
技术参数:
测量范围: |
-120~-40°C露点 |
精度: |
±1°C露点 |
工作压力: |
30 MPa |
工作温度: |
-20~+50°C |
气室材料: |
冷拉不锈钢, 内部0.1~0.2 微米电抛光 |
防护等级: |
IP 65 |
气路接口: |
1/4’’VCR |
流量等级: |
建议为1~5 NL/Min |
工作电源: |
12~28VDC |
输出信号: |
4-20mA(RS485 可选) |
溯源性: |
NPL(英国)和NIST(美国) |
质量保证期: |
12个月 |