专为半导体晶圆生产而设计,适合多点安装的微量水分异动预警系统
特点:
◆ 快速响应ppb水平的微量湿度变化
◆ 高灵敏度,实时监测
◆ 小巧经济,适合多点安装
◆ 报警点设置可编程
◆ 交通灯直观状态显示
◆ MODBUS 兼容
典型运用:
◆ 在线检测半导体工业高纯气的湿度
技术参数:
响应时间 |
<1Min ( 在1ppb基础上的20ppb变动) |
湿度范围 |
1ppb~20,000ppm |
工作压力 |
0~10Bar |
压力等级 |
30 MPa |
泄漏测试 |
0~9Mbar S-1 |
工作温度 |
+5~+40°C |
气室材料: |
冷拉不锈钢, 内部超微米级电抛光 |
防护等级: |
IP 65 |
气路接口: |
1/4’’VCR |
流量等级: |
建议为1~10 NL/Min |
工作电源: |
20~28VDC |
输出信号: |
4-20mA(RS485 可选) |
质量保证期: |
12个月 |