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日本精工 X射线镀层厚度测定仪SFT-110概述
日本精工电子有限公司的子公司精工电子纳米科技有限公司推出配备自动定位功能的[X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110]，使操作性进一步提高。
对半导体材料、电子元器件、汽车部件等的电镀、蒸镀等的金属薄膜和组成进行测量管理，可保证产品的功能及品质，降低成本。精工从1971年首次推出非接触、短时间内可进行高精度测量的X射线荧光镀层厚度测量仪以来，已经累计销售6000多台，得到了国内外镀层厚度、金属薄膜测量领域的高度关注和支持。
为了适应日益提高的镀层厚度测量需求，精工开发了配备有自动定位功能的X射线荧光镀层厚度测量仪SFT-110。通过自动定位功能，仅需把样品放置到样品台上，就可在数秒内对样品进行自动对焦。由此，无需进行以往的手动逐次对焦的操作，大大提高了样品测量的操作性。
近年来，随着检测零件的微小化，对微区的高精度测量的需求日益增多。SFT-110实现微区下的高灵敏度，即使在微小准直器(0.1、0.2mm)下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。并且，配备有新开发的薄膜FP法软件，即使没有厚度标准物质也可进行多达5层10元素的多镀层和合金膜的测量，可对应更广泛的应用需求。
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型号 |
SFT-110 | |||
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测量元素 |
原子序号22（Ti）～83（Bi） | |||
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X射线源 |
空冷式小型X射线管 管电压： 50kV 管电流： 1mA | |||
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检测器 |
比例计数管 | |||
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准直器 |
○型： 0.1mmφ、0.2mmφ 2种 | |||
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样品观察 |
CCD摄像头（可进行广域观察） | |||
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对焦 |
激光点（自动） | |||
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滤波器 |
一次滤波器： 自动切换 | |||
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500(W) x400(D) x 150（H）mm X:250mm, Y:200mm | |||
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操作部 |
电脑、19寸液晶 | |||
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测量软件 |
薄膜FP法 （最多5层膜、10种元素）、标准曲线法 | |||
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数据处理 |
配备有Microsoft® Excel、Microsoft® Word | |||
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安全机构 |
样品门连锁、样品的防冲撞功能、仪器诊断功能 | |||
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选配 | ||||
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• 图像处理软件 • 块体FP软件（材料组成分析） • 块体标准曲线软件（电镀液分析） | ||||
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