库仑法测厚仪测量方法
根据测头和被测工件表面是否接触,可将覆层厚度测量分为接触测量和不接触测量。?xml:namespace>
接触测量是测头和被测工件表面直接触的测量,并有机械作用力存在,通常成制品和半成品的覆层厚度测量大多采用接触测量。
不接触测量是测头和被测工件表面不发生接触的测量,而且没有机械作用力存在,如x射线荧光,B射线法等就多用于生产中的不接触测量。
从对被测覆层是否进行破坏看,覆层厚度可分为有损测量和无损测量,或称破坏性测量和非破坏性测量。
有损测量分阳极溶解库仑法、光学法(包括覆层断面显微镜测量、干涉法光学装置测量、偏振光学法装置测量、扫描电镜测量)、化学溶解法(包括点滴法、液流法、称重法)。
无损测量分为磁法、涡流法、射线法、光学法(包括光切法、光电法、双光束干涉法等)、电容法、微波法、超声法。
检索范围: |
关 键 字: |