库仑法测厚仪测量方法：

    根据测头和被测工件表面是否接触，可将覆层厚度测量分为接触测量和不接触测量。

    接触测量是测头和被测工件表面直接触的测量，并有机械作用力存在，通常成制品和半成品的覆层厚度测量大多采用接触测量。

    不接触测量是测头和被测工件表面不发生接触的测量，而且没有机械作用力存在，如x射线荧光，B射线法等就多用于生产中的不接触测量。

    从对被测覆层是否进行破坏看，覆层厚度可分为有损测量和无损测量，或称破坏性测量和非破坏性测量。

    有损测量分阳极溶解库仑法、光学法（包括覆层断面显微镜测量、干涉法光学装置测量、偏振光学法装置测量、扫描电镜测量）、化学溶解法（包括点滴法、液流法、称重法）。

    无损测量分为磁法、涡流法、射线法、光学法（包括光切法、光电法、双光束干涉法等）、电容法、微波法、超声法。