MCV质量流量控制器

• 响应时间50-100ms
• 量程 0.5sccm-20slpm
•   模拟和数字通信（可选PROFIBUS）
• 30种预设定校准气体
•  精度±0.8% 的读数±0.2% 满刻度
•   可选高精度±0.4% 的读数±0.2% 满刻度
•   操作量程1%-100%
• 数字显示质量流量、体积流量、绝压和温度
• 无预热时间
•  小巧设计，方便替换其他设备
•  保证标准大气压下氦气最大泄露1 x 10^-9的气动截止阀
•   终身维修

性能	MCV质量流量控制器	描述
精度	±0.8% 的读数±0.2% 满刻度	在没有流量条件下校准
高精度选项	±0.4% 的读数±0.2% 满刻度	在没有流量条件下校准
重复性	±0.2%	满量程
操作量程	1%-100%的满量程	测量和控制
响应时间	100	毫秒（可调）
标准状态（STP）	25°&14.696PSIA	仅测量质量流量用
操作温度	-10～50	℃
零点漂移	0.02％	满量程/℃/Atm
量程漂移	0.02％	满量程/℃/Atm
湿度范围	0-100%	无冷凝
控制流量范围	102.4%	满量程
最大耐压	145	PSIG
输入/输出数字信号	质量流量、体积流量、绝压和温度	RS-232或PROFIBUS
输入/输出模拟信号	质量流量	0-5VDC
可选输入/输出 第二路模拟	质量流量、体积流量、绝压或温度	0-5VDC,0-10VD或4-20mA
电气连接	8针或者DB-15
供电电压：质量流量计	12-30Vdc（15-30Vdc或者4-20mA输出）
供电电流：质量流量计	0.300Amp
安装位置敏感度	无
预热时间	＜1	秒
阀泄漏率	1 x 10-9标准大气压sccm/s 氦气最大
接液材质	316L不锈钢；FFKM(Kalrez)标准； Viton®；EDPM；Buna一些气体所需的氯丁橡胶；质量流量控制器还附加303不锈钢，430不锈钢
1、  高精度选项不包括量程低于5sccm 2、  如果选择PROFIBUS通信，则没有模拟信号可选。PROFIBUS的设备不带显示，看PROFIBUS性能所需的供电电压和电流 3、  如您需要特殊材质，请联系Alicat公司咨询

满刻度MCV控制器	机械尺寸	过程连接
0.5SCCM -20SLPM	4.992”H x 6.710”W x 1.50”D	1/4” VCR 外螺纹
推荐使用焊接的VCR配件（过程连接），请参考42页