产品描述：
大规模集成电路是在超净环境下生产的。DY-EP-03是针对这种行业要求而设计的专用仪表。用于高纯O2、H2、N2、Ar等气体的计量，并达到EPS电子卫生级标准。
·极宽的量程比，量程比大于100：1。
·精确测量气体流量。
·管道全部采用304、316L等高级电子抛光管，内外表面光亮如镜，保证清扫后不留有有害物质。
·仪表出厂时采用严格的卫生处理和包装，即用高纯氮吹扫半小时后在保压充高纯氮条件密封。
·采用全焊接结构，保证在高压下不泄漏和出厂前100%高压N2检漏。
·EPS电子卫生级全部为精品级。
技术参数：
精度±1%读数+0.5%F.S
重复性 0.2%
口径 Φ10—Φ200
流量范围 0.05—60m/s
压力范围 <2MPa
温度范围 -25—125℃
环境温度-25—80℃
供电24VDC? 220VAC
输出 4-20mA，232，485接口
显示 LED四位瞬时流量和八位累计流量
显示单位 NM3/h、Kg/h、L/min、g/min
传感器材质 304不锈钢、316不锈钢
传感器测量杆材质 304不锈钢、抛光
传感器杆直径 Φ19
法兰材质 304不锈钢、电抛光
管道材质 304不锈钢、电抛光
结构形式 一体化、分体
连接形式 法兰、卡套、卡盘、对接螺纹等
防护等级 IP65
电缆接口 分体G1/2、一体化G1/2、M20×1.5
报警输出 1—2个继电器干结点
检漏压力 2MPa
防爆标准 ExdIICT4
累计流量计时 1周168小时，手动复位
安装方向 自左向右、自右向左水平安装
清洗 防油处理，高纯氮吹扫
包装 精制木质仪表箱、充氮
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