820气体质量流量计
820系列产品以合理的安装成本来代替体积流量装置。无需在大多数流量监测装置中所需的压力或温度校正。流量范围从 0~10sccm 到0~50slpm，适用于任何清洁气体的流量测量场合。材料为316不锈钢、镀镍、尼龙塑料和“O”形橡胶密封圈，所有原料均抗腐蚀。820 型产品直接以sccm 或slpm 为单位测量和显示质量流量。显示可翻转180º，方便读数，也可远程安装。该表还可提供0～5VDC 或4～20mA 的线性输出信号（输出信号与质量流量成比例）用于数据记录或控制。这种仪表广泛应用于各种流量检测和实验室，测试和分析设备的标定。
特点：
● 直接质量流量监测，无需压力和温度传感
● 数字质量流量显示（显示板可远程安装）
● 质量流量电信号输出（可用于控制，数据记录）
● 快速的响应能力（2秒）
● 大而直的传感器管道减少了污染和维修停用期
● 铂传感器消除了零漂，确保长期稳定
● 基本标准标定确保了起始点准确性和NIST可追踪性
● CE认证
● 获中华人民共和国计量器具批准证书（CPA）
参数：
质量流量：0~10sccm 到0~50slpm；指定的流量范围是76 厘米汞柱、21ºC（70ºF）下的氮气对应流量范围；用其他单位表示的流量范围也可提供。
气体压力：150psig(10barg)最大；20psig（1.4barg）最佳。
气体＆环境温度：32ºF 到122ºF（0ºC 到50ºC）。
防渗漏功能：最大为 1×10-4 atm cc/sec（氦气）。
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