电阻率(25°C 时为 MΩ·cm) |
18.2 Ultrapure Water 18.2 |
TOC,ppb–使用 Quantum IX |
< 30 |
TOC,ppb–使用 Quantum EX |
<10 |
颗粒物 |
0.22µm 除菌过滤器 |
尺寸(接有 10L 储水桶) | |
高,cm (in.) |
45.7 (18) |
宽,cm (in.) |
25.5 (10) |
厚,cm (in.) |
50 (20) |
操作重量(水箱装满),kg (lb) |
29.5 (65.0) |
I 级水流速 (L/min) |
高达 0.6 |
III 级水流速(L/h) |
高达 5 |