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| X轴(驱动部) | |
| 测量范围 | 50mm |
| 分辨率 | 0.05μm |
| 长度基准 | 线性编码器 |
| 驱动速度 | 0-20mm/s |
| 测量速度 | 0.02-5mm/s |
| 移动方向 | 向后 |
| 直线度 | 0.2μm/50mm |
| 定位 | ±1.5°（倾角，有DAT功能），30mm（向上/向下） |
| 检测器 | |
| 范围/分辨率 | 800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm |
| 检测方法 | 无轨/有轨测量 |
| 测力 | 4mN或0.75mN |
| 测针针尖 | 金刚石,90o/5μmR(60o/2μmR) |
| 导头曲率半径 | 40mm |
| 导头压力 | 小于400mN |
| 类型 | 差动电感式 |
| 尺寸(WxDxH) | 425x94x160mm |
| 重量 | 主机2.7kg |
| 连接装置3.8kg | |
| 评估能力 | |
| 适用标准 | JIS\'82,JIS\'94,JIS\'01,ISO,ANSI,VDA |
| 评估轮廓 | P(原始轮廓),R(表面粗糙度曲线),DIN4776,粗糙度曲线motif |
| 评价参数 | Ra,Ry,Rz,Rt,Rp,Rq,Rv,Sm,S,Pc,R3z,mr(c),Rpk,Rvk,δc,Rk,Mr1,Mr2 Lo,Ppi,R,AR,Rx,A1,A2,Vo,HSC,mr,SK,Ku,Δa,Δq,Wte,Wx,W,AW(可定制) Rz1max(ISO),Rmax(VDA,ANSI) |
| 分析图表 | ADC、BAC、功率谱图 |
| 评价曲线 | 断面曲线、粗糙度曲线、DF曲线、波纹曲线表面粗糙度MOTIF、波形MOTIF曲线 |
| 解析图表 | 负荷曲线、振幅分布曲线 |
| 曲线补偿 | 抛物线、双曲线、圆锥、圆、二次曲线、倾斜补偿、无补偿 |
| 滤波类型 | 2CR,PC75,高斯 |
| 截止波长 | lc0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm ls0.25,0.8,2.5,8,25,80,250μm无滤波器 lf0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm无滤波器 |
| 取样长度 | 0.025,0.08,0.25,0.8,2.5,8,25mm; |
| 数据补偿功能 | 倾斜补偿、R平面（曲面）补偿、椭圆补偿、抛物线补偿、双曲线补偿、二次曲线自动补偿、多项式补偿、多项式自动补偿 |
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