产品描述：
与AFM 的差异最主要是触针形状不同，ET(俗称Alpha-step)是R 2um/60度钻石制、AFM 是蚀刻制，故几乎无角度。也因此若纯粹膜厚两种都OK，差异是有些细微表面ET掉不进去，故nm以下的表面粗度则以AFM为主。
主要特性
一. 极佳再现性与线性度
再现性• • • 可达0.1nm
线性度• • •针对不同厚薄样品，使用同一感度
二. 高解析度
高解析度• • •特别是针对thin film更佳
纵轴最高解析度0.1nm
横轴最高解析度0.01um
可测定微细形状
三. 低测定力
低测定力• • •效果可比拟非接触
测定力10 ~ 500uN、1~50mgf 可任意设置
可测定软质材料面，如：ITO、COLOR FILTER、SPACER、PI…等
四. 超高真直度
超高真直度• • •可测定试片之长距离测定
追溯性：通过认证工厂，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，产品出厂皆检附出厂校正报告
高机械真直度精度保证：
局部0.005um/5mm、全域0.2um/100mm可测定试片之长距离测定,例如:平面度、波纹度、翘曲度、内应力等等
真直度保证• • •确保测定图形不受影响
五. 即时监控量测位置
即时监控量测位置• • •可易辨认微小样品
配备标准CCD：即时监控量测位置
可选购TOPVIEWCCD，执行高精度定位量测
六. 形状及粗度解析
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
七．可扩充成三次元设备
形状及粗度解析
粗度规范对应：可对应各种国际新旧标准规范，测定参数多达60种
可测定段差及PITCH量测
主要客户
高校及研究单位:机械、材料、化学、
光电、校正中心。
民间企业:光电(TFT、CF、STN、TP、
LED、OLED) and 半导体。
KOSAK ET 200主要规格：
技术参数：
一、測定工件：
1. 最大工件尺寸：φ160mm
2. 最大工件厚度：50mm
3. 最大工件重量：2kg
二、檢出器（pick up）：
1. Z方向測定範圍：Max. 600μm
2. Z方向分解能：0.1nm
3. 測定力：min.1mgf,max.50mg
4. 觸針半徑：2 μm
5. 驅動方式：直動式
6. 再現性：1σ= 1nm
三、X 軸 (基準軸)：
1. 移动量(最大測長)：100mm
2. 移動的真直度：0.2μm/100mm
3. 移動,測定速度：0.02 ~ 10mm/s
4. 線性尺(linar scale)：分解能0.1μm
四、Z軸：
1. 移动量：50mm
2. 移動速度：max.2mm/S
3. 檢出器自動停止機能
4. 位置決定分解能：0.2μm
五、工件台：
1. 工件台尺寸：φ160mm
2. 機械手動倾斜： ± 1mm/150mm
六、工件觀察：
max.110 倍(可選購其它高倍率CCD)
七、床台：
材質為花崗岩石
八、防振台(選購)：
落地型或桌上型
九、電源：
AC100V±10%,50/60HZ, 300VA
十、本體外觀尺寸及重量：
W494×D458×H610mm, 120kg (不含防震台)
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