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项目 / 型式 |
SURFCOM C5 Type-C |
SURFCOM C5 Type-S | |
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量测范围 |
Z轴（纵方向） |
1000μm | |
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X轴（横方向） |
200mm | ||
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移动范围 |
Z轴（上下） |
500mm (分辨率：0.1μm) | |
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X轴（驱动部） |
200mm (分辨率：0.1μm) | ||
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Y轴（前后） |
800mm (分辨率：0.1μm) | ||
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Y轴（测头驱动部） |
30mm (分辨率：0.1μm) | ||
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旋转角度 (测头) |
0°、90°、180°、270° |
－ | |
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驱动部真直度精度 |
X轴：0.5μm/200mm、Y轴：0.5μm/30mm | ||
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参数 |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax,Rt,Rz.J,R3z,Sm,S,RΔa,RΔq,Rλa,Rλq,
TILT A,Ir,Pc,Rsk,Rku,Rk,Rpk,Rvk,Mr1,Mr2,VO,K,tp,Rmr,tp2,Rmr2,
Rδc,AVH,Hmax,Hmin,AREA,NCRX,R,Rx,AR,NR,CPM,SR,SAR | ||
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显示纵倍率 |
50～500K倍 | ||
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显示横倍率 |
0.1～20K倍 | ||
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驱动速度 |
上下速度(Z轴) |
Max 100mm/s | |
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测量速度(X轴) |
0.03～3mm/s（粗度量测时）、0.03~20mm/s（形状量测时） | ||
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移动速度(X轴) |
Max 100mm/s | ||
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移动速度(Y轴) |
Max 100mm/s | ||
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测针 |
尖端半径 |
0.75mN |
10mN |
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测定力 |
2μmR |
5μmR | |
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材质 |
钻石材质 | ||
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其它 |
电源 |
单相AC100~230V±10﹪、50/60Hz | |
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消费电力 |
1000VA | ||
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重量 |
2000kg |
1700kg | |
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