本月特价 热卖产品 货到付款 现场演示 延长保修 终身维修
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項目 / 型式 |
SURFCOM 2000DX3/SD3 | |||||||||
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量測範圍 |
Z 軸（縱方向） |
50mm/标准吊臂，10mm/2 倍吊臂 | ||||||||
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X 軸（橫方向） |
100mm |
200mm | ||||||||
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精度 |
Z 軸指示精度 |
±(2.5+|2H|/100)µm H:測量高度(mm) | ||||||||
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測量解析度 |
0.8nm/0.5mm 測量範圍,3.2nm/0.2mm 測量範圍,8nm/0.5mm 測量範圍,
16nm/1mm 測量範圍,32nm/2mm 測量範圍,80nm/5mm 測量範圍 | |||||||||
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X 軸指示精度 |
±（1.0+1L/100）µm (L:测量长度 mm) | |||||||||
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測量解析度 |
0.016µm | |||||||||
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真直度精度 |
(0.05+1.0L/1000)µm L:量測長度(mm) | |||||||||
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感應方式 |
Z 軸（縱方向）:差动变压器 X 軸（橫方向）：Moire 光柵尺 | |||||||||
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速度 |
立柱上下速度(Z 軸) |
3~10mm/s | ||||||||
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速度(X 軸) |
测量速度：0.03~20mm/s,移动速度：最大 60mm/s | |||||||||
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检出器 |
测针、测量力 |
交换式 | ||||||||
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测针半径、材质 |
2µmR,（60°圆锥鑽石材質）0.75mN,25µmR (24°圆锥超硬)5mN 各 1 支标准付属品 | |||||||||
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移动范围 |
驱动部行程 |
100mm |
200mm | |||||||
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立柱上下动行程 |
250mm |
450mm |
650mm |
250mm |
450mm |
650mm | ||||
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平台 |
尺寸 |
600×320mm |
1000×450mm |
600×320mm |
1000×450mm | |||||
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容许载重量 |
37kg |
28kg |
93kg |
84kg |
31kg |
22kg |
87kg |
78kg | ||
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其它 |
设置尺寸 |
横 |
1250mm |
1650mm |
1250mm |
1650mm | ||||
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深 |
800mm |
900mm |
800mm |
900mm | ||||||
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高 |
1480mm |
1680mm |
1880mm |
1480mm |
1680mm |
1880mm | ||||
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质量 |
225kg |
235kg |
420kg |
430kg |
230kg |
240kg |
425kg |
435kg | ||
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电源、消耗电力 |
AC100V±10％（要接地）﹑50/60Hz / 670VA | |||||||||
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