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型号 |
SURFCOM 130A | ||
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测量范围 |
X轴（横向） |
50m | |
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Y轴（纵向） |
800mm(测量范围/分辩率：800mm/10nm、80mm/1nm、8mm/0.1nm) | ||
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直线度精度 |
0.3mm/50mm | ||
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分
析
项
目 |
使用规格 |
JIS-2001,JIS-1994,JIS-1982,ISO-1997,ISO-1984.DIN-1990,ASME-1995,CNOMO规格 | |
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参数 |
Ra,Rq,Ry,Rp,Rv,Rc,Rz,Rmax.Rt,Rz.J.R3z.Sm.S.R△q.Rla.Rlq.
TLL T A. lr.Pc.Rsk.Rku.Rk.Rpk.Rvk.Mr1.Mr2.Vo.K.tp.Rmr.tp2.Rmr2.Rdc
AVH.Hmax.Hmin.AREA.NCRX.R.Rx.AR.NR.CPM.SR.SAR | ||
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评价曲线 |
剖面曲线、粗糙度曲线、滤波波纹度曲线、滤波中心线波纹度曲线、滚动圆波纹度曲线、滚动圆中心线波纹度曲线、DIN4776特殊曲线、粗糙度中心曲线（Motif）、波纹度中心曲线（Motif）、包络波纹度曲线 | ||
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表面特性图表 |
负荷曲线、功率谱曲线图、振幅分布曲线 | ||
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倾斜补偿方式 |
直线补偿、R面补偿、前半补偿、后半补偿、两端补偿、花键补偿、（直线、R面、两端补偿可以在任意范围内） | ||
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倍率 |
纵倍率（Z轴） |
50、100、200、500、1K、2K、5K、10K、100K、200K*、500K*倍、自动 | |
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横倍（X轴） |
1、2、5、10、20、50、100、200、500、1K、2K、自动 | ||
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滤波器的种类 |
标准型滤波器2RC、相位补偿型滤波器2RC、相位补偿型滤波器（高斯滤波器） | ||
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测量速度 |
0.3、0.6、1..5 3mm/s(4速) | ||
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传感器 |
前端半径2mm、材质为金刚石、测量力为0.75mN | ||
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先进的 功能 |
测量AI |
装载有测量AI功能、即使初学者也可容易掌握 | |
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段差分析功能 |
最适于测量半导体零部件的膜厚及面积 | ||
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PC卡 |
输出文本文件、将数据传送至电脑 | ||
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标准配件 |
标准片E-MC-S24B、记录纸（E-CH-S21A）、触摸笔（E-MA-S54A）操作说明书 | ||
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各要素 |
电源 |
AC100~240V±10%、50/60Hz、30VA | |
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设置尺寸 |
700（W）*300（D）*150（H）mm | ||
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质量 |
8Kg | ||
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