北京中仪提供双电测四探针测试仪使用方法,满足你不同地点的使用需求。
·双电测四探针测试仪采用了四探针双电测组合(亦称双位组合)测量新技术,将范德堡测量方法推广应用到直线四探针上,利用电流探针、电压探针的变换,在计算机控制下进行两次电测量,能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置
·由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正,因此显著降低了几何因素影响,从而提高了测量结果的准确度。所有这些,用目前大量使用的常规四探针测量方法所生产的仪器是无法实现的
电阻率 | 10(-4)~10(5)Ω.cm可扩展 |
方块电阻 | 10(-3)~10(6)Ω/□可扩展 |
电导率 | 10(-5)~10(4)s/cm |
电阻 | 10(-4)~10(5)Ω |
可测晶片厚度 | ≤3mm |
可测晶片直径小尺寸 | 140mmX150mm配S-2A型测试台 |
可测晶片直径标准尺寸 | 200mmX200mm配S-2B型测试台 |
可测晶片直径大尺寸 | 400mmX500mm配S-2C型测试台 |
恒流源电流量程 | 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调 |
数字电压表量程及表示形式 | 000.00~199.99mV |
分辨力 | 10μV |
输入阻抗 | >1000MΩ |
精度 | ±0.1% |
显示 | 四位半红色发光管数字显示极性、超量程自动显示 |
四探针探头基本指标间距 | 1±0.01mm |
针间绝缘电阻 | ≥1000MΩ |
机械游移率 | ≤0.3% |
探针 | 碳化钨或高速钢Ф0.5mm |
探针压力 | 5~16 牛顿(总力) |
四探针探头应用参数 | 见探头附带的合格证 |
模拟电阻测量相对误差(按JJG508-87进行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试) | ≤±4% |
整机测量标准不确定度 | ≤4% |
计算机通讯接口 | 并口 |
标准使用环境 | 温度:23±2℃ |
相对湿度 | ≤65% |