| 电阻率 | 10(-4)~10(5)Ω.cm可扩展 |
| 方块电阻 | 10(-3)~10(6)Ω/□可扩展 |
| 电导率 | 10(-5)~10(4)s/cm |
| 电阻 | 10(-4)~10(5)Ω |
| 可测晶片厚度 | ≤3mm |
| 可测晶片直径小尺寸 | 140mmX150mm配S-2A型测试台 |
| 可测晶片直径标准尺寸 | 200mmX200mm配S-2B型测试台 |
| 可测晶片直径大尺寸 | 400mmX500mm配S-2C型测试台 |
| 恒流源电流量程 | 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调 |
| 数字电压表量程及表示形式 | 000.00~199.99mV |
| 分辨力 | 10μV |
| 输入阻抗 | >1000MΩ |
| 精度 | ±0.1% |
| 显示 | 四位半红色发光管数字显示极性、超量程自动显示 |
| 四探针探头基本指标间距 | 1±0.01mm |
| 针间绝缘电阻 | ≥1000MΩ |
| 机械游移率 | ≤0.3% |
| 探针 | 碳化钨或高速钢Ф0.5mm |
| 探针压力 | 5~16 牛顿(总力) |
| 四探针探头应用参数 | 见探头附带的合格证 |
| 模拟电阻测量相对误差(按JJG508-87进行) | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
| 整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试) | ≤±5% |
| 整机测量标准不确定度 | ≤5% |
| 计算机通讯接口 | 并口 |
| 标准使用环境 | 温度:23±2℃ |
| 相对湿度 | ≤65% |