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微分干涉显微镜在LCD行业的应用
[ 2015/6/17 9:19:52 ] [转载请注明来源:就是要仪器网]

北京中仪友信科技有限公司是一个定位于高精产品开发生产以及销售的公司,针对显微镜的检测和测量,尤其在工业领域的显微应用,依托国外的先进技术,提供系统解决方案。公司推出了无穷远光学系统设计的微分干涉显微镜SQ200,最大限度的减少光学元件对成像的影响。微分干涉显微镜现广泛应用于电子行业,特别适用当今日益发展的LCD行业,对各类尺寸的液晶显示屏的检查尤为适合。普西森SQ200微分干涉显微镜配置偏振系统及微分干涉系统,可实现COG中粒子及爆破检测,可实现TAB检测;具备起偏器和检偏器,可做偏光检测,在半导体和PCB检测中,可消除杂光,细节更清楚;可加载微分干涉器,实现微分干涉观察,在COG中,可清晰观察3-5um的粒子;整个市场干涉色彩均匀;内设偏振光和DIC,可建立诺曼尔斯基微分干涉衬比法系统,可对LCD导电粒子检查。SQ200还可配置8"×8"大型快速移动平台,完全满足8"以下的所有LCD、IC晶圆等大尺寸的快速检测。独创的快速移动功能和微移功能可实现样品的粗、细检查。

1952年,Nomarski在相差显微镜原理的基础上发明了微分干涉差显微镜(differential interference contrast microscope),简称:DIC

   DIC显微镜又称Nomarski相差显微镜(Nomarki contrast microscope),其优点是能显示结构的三维立体投影影像。与相差显微镜相比,其标本可略厚一点,折射率差别更大,故影像的立体感更强。

    DIC显微镜的物理原理完全不同于相差显微镜,技术设计要复杂得多。DIC利用的是偏振光,有四个特殊的光学组件:偏振器(polarizer)、DIC棱镜、DIC滑行器和检偏器(analyzer)。偏振器直接装在聚光系统的前面,使光线发生线性偏振。在聚光器中则安装了石英Wollaston棱镜,即DIC棱镜,此棱镜可将一束光分解成偏振方向不同的两束光(xy),二者成一小夹角。聚光器将两束光调整成与显微镜光轴平行的方向。最初两束光相位一致,在穿过标本相邻的区域后,由于标本的厚度和折射率不同,引起了两束光发生了光程差。在物镜的后焦面处安装了第二个Wollaston棱镜,即DIC滑行器,它把两束光波合并成一束。这时两束光的偏振面(xy)仍然存在。最后光束穿过第二个偏振装置,即检偏器。在光束形成目镜DIC影像之前,检偏器与偏光器的方向成直角。检偏器将两束垂直的光波组合成具有相同偏振面的两束光,从而使二者发生干涉。xy波的光程差决定着透光的多少。光程差值为0时,没有光穿过检偏器;光程差值等于波长一半时,穿过的光达到最大值。于是在灰色的背景上,标本结构呈现出亮暗差。为了使影像的反差达到最佳状态,可通过调节DIC滑行器的纵行微调来改变光程差,光程差可改变影像的亮度。调节DIC滑行器可使标本的细微结构呈现出正或负的投影形象,通常是一侧亮,而另一侧暗,这便造成了标本的人为三维立体感,类似大理石上的浮雕。

 

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