1. 特征X射线的产生
特征X射线的产生是入射电子使内层电子激发而发生的现象。即内壳层电子被轰击后跳到比费米能高的能级上,电子轨道内出现的空位被外壳层轨道的电子填入时,作为多余的能量放出的就是特征X 射线。高能级的电子落入空位时,要遵从所谓的选择规则,只允许满足轨道量子数l 的变化Δl=±1 的特定跃迁。特征X 射线具有元素固有的能量,所以,将它们展开成能谱后,根据它的能量值就可以确定元素的种类,而且根据谱的强度分析就可以确定其含量。
另外,从空位在内壳层形成的激发状态变到基态的过程中,除产生X射线外,还放出俄歇电子。一般来说,随着原子序数增加,X射线产生的几率(荧光产额)增大,但是,与它相伴的俄歇电子的产生几率却减小。因此,在分析试样中的微量杂质元素时可以说,EDS 对重元素的分析特别有效。
2. X射线探测器的种类和原理
对于试样产生的特征X 射线,有两种展成谱的方法:X 射线能量色散谱方法和X射线波长色散谱方法。在分析电子显微镜中均采用探测率高的EDS。从试样产生的X 射线通过测角台进入到探测器中。
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