压力传感器——发展现状

压力传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、成本低、便于集成化的优点, 可广泛用于压力、高度、加速度、液体的流量、流速、液位、压强的测量与控制。还广泛应用于水利、地质、气象、化工、医疗卫生等方面。由于该技术是平面工艺与立体加工相结合, 又便于集成化, 所以可用来制成血压计、风速计、水速计、压力表、电子称以及自动报警装置等。压力传感器已成为各类传感器中技术最成熟、性能最稳定、性价比最高的一类传感器。目前国内外关于压力传感器的研究，主要有光纤压力传感器、电容式压力传感器，耐高温压力传感器、硅微机械加工传感器、具有自测试功能的压力传感器、多维力传感器五种类型。其中电容式真空压力传感器因自熔焊接圆环的特殊作用可以防止泄露任何污染介质等具有广泛的应用前景。  从已经获得的参考文献来看，国际上美、日、英、法、德和独联体等国都把传感器技术列为国家重点开发关键技术之一，其中光纤压力传感器是一种研究成果较多的传感器, 但投入实际领域的并不是太多，六维力传感器的研究和应用是多维力传感器研究的热点, 现在国际上只有美、日等少数国家可以生产。在我国跟踪国外发展的基础上, 又开创性的研制出组合有压电层的柔软光学阵列触觉,能抓握和识别鸡蛋和钢球, 现已用于机器人分选物品。