氢化物气体检测/分析仪FP-260A简介 工业半导体净化室的理想检测仪 | |
功能描述 | |
检测原理: | 使用盒式纸带的光电光度学原理 |
检测纸带: | 盒式纸带,VHS型快速更换型盒带 |
电源和耗电量: | AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(在检测状态耗能为35VA,在纸带卷动时耗能为60VA) |
物理特性 | |
长度 | 370mm |
宽度 | 275mm |
高度 | 220mm |
重量 | 约12kg |
持有证书 | |
CE |
检测气体 |
TLV值 |
检测范围 |
解析值 |
磷 PH4 |
300ppb |
0##900ppb |
5 |
四氢化硅 SiH4 |
5ppm |
0##15ppm |
0.25 |
乙硼烷 B2H6 |
100ppb |
0##300ppb |
5 |
砷烷AsH3 |
50ppb |
0##150ppb |
1 |
乙硅烷 SiH6 |
5ppm |
0##10ppm |
0.1 |
硫化氢 HS2 |
10ppm |
0##100ppm |
1 |
光气 COCl2 |
100ppb |
0##300ppb |
2 |
氯气 Cl2 |
0.5ppm |
0##100ppb |
1 |
硒化氢 H2Se |
50ppb |
0##300ppb |
2 |
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