产品特点
1.0nm(半最大值全波)光学解析度
200~1100nm波长范围
快速建立和保存实验方法
调制步骤编辑
调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而有效的步骤设置:例如测量薄膜沉积情况、监测等离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。
用于简单的等离子体诊断的多重工具
PlasCalc型监控器配有操作软件,所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库,可以另外单独购买,它能够提供种类的鉴定;而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口,可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信息。
产品规格:
光谱范围 200~1100nm
光学解析度 1.0nm(半最大值全波)
数字/模拟转换器 14 bit
数字输入/输出 8 x TTL
模拟输出 4 x [0-10V]
连接方式 USB 1.1
电力消耗 12V直流电,1.25A
电力需求 90~240V交流电,50/60Hz
尺寸 257 mm x 152 mm x 263 mm
重量 5 kg
PlasCalc系列等离子体监控器
购买提示
1.阁下有任何产品问题请致电
400-663-9117.
2.中仪将提供
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3.我们提供PlasCalc系列等离子体监控器计量送检,在签收前请详细核查资料信息.
4.TY10PlasCalc系列等离子体监控器价格根据配置和货期不同而不同,具体以合同为准.
5.我们为阁下提供保修TY10PlasCalc系列等离子体监控器售后维修服务,提供后期技术支持.
6.阁下对TY10PlasCalc系列等离子体监控器使用方法等有需求时,将为阁下找到PlasCalc系列等离子体监控器说明书.