型号 |
RS290C | |
主轴回转精度 |
(±0.025+5H/10000)μm | |
立柱精度 |
0.5μm /100mm;
补偿后:0.12μm/100mm, 全长优于0.25μm | |
立柱对轴心回转中心线的平行度(补偿后): |
0.2μm 任意200mm,全长优于0.5μm | |
R向传感器量程 |
600μm,有效精度0.03μm | |
R向传感器最高精度 |
0.001μm | |
R向光栅精度 |
- | |
Z向光栅精度 |
1μm | |
转速 |
5转/分钟(1.5--8可调) | |
圆周采样点 |
4096点/圈 | |
测量范围 |
承载 |
23Kg(可选配,更大需定制) |
内径 |
最小可选配1mm | |
外径 |
工作台直径Ф150mm可扩展更大,回转直径280mm.可扩展至更大 | |
高度 |
200mm |