型号 |
C121210 |
C122010 |
C123010 | |
测量范围 |
X轴 |
1205mm(48") |
1205mm(48") |
1205mm(48") |
Y轴 |
1205mm(48") |
1205mm(80") |
1205mm(120") | |
Z轴 |
1005mm(40") |
1005mm(40") |
1005mm(40") | |
分辨率 |
0.0001mm(.000004") | |||
200C时的精度ISO10360-2 |
EPEE=(2.5+3L/1000)µm*(2.3+3L/1000) µm** MPEP=2.2µm/2.0µm (使用TP200/SP600或MPP-100时) |