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型号 |
M776 |
M7106 | |
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测量范围 |
X轴 |
700mm(20") |
700mm(20") |
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Y轴 |
700mm(16") |
1000mm(28") | |
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Z轴 |
600mm(16") |
600mm(16") | |
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分辨率 |
0.0005mm(.00002") |
0.0005mm(.00002") | |
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200C时的精度ISO10360-2 |
E=(4.5+4.5L/1000)µm*
R=5.0µm
(使用TP20) |
E=(4.5+4.5L/1000)µm*
R=5.0µm
(使用TP20) | |