型号 |
M544 |
M574 | |
测量范围 |
X轴 |
500mm(20") |
500mm(20") |
Y轴 |
400mm(16") |
700mm(28") | |
Z轴 |
400mm(16") |
400mm(16") | |
分辨率 |
0.0005mm(.00002") |
0.0005mm(.00002") | |
200C时的精度ISO10360-2 |
E=(3.5+4.5L/1000)µm*
R=4.0µm
(使用TP20) |
E=(3.5+4.5L/1000)µm*
R=4.0µm
(使用TP20) |