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型号 |
SURFCOM 2700DX3/SD3 | |||||||||
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测量范围 |
Z轴(纵方向) |
50mm | ||||||||
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X轴(横方向) |
100mm |
200mm | ||||||||
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精度 |
Z轴指示精度（纵方向） |
±（0.8+│2H│/100）μm （H：测量高度 mm） | ||||||||
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测定分辨率 |
只有0.025μm/全套 | |||||||||
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X轴指示精度(横方向) |
±（1.0+1L/100）μm （L：测量长度 mm） | |||||||||
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测定分辨率 |
0.016μm | |||||||||
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直线度精度 |
1μm/100mm |
2μm/200mm | ||||||||
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测量方式 |
X轴(横方向) |
线性马达 | ||||||||
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Z轴(纵方向) |
规模激光衍射 | |||||||||
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速度 |
立柱上下移动速度（Z轴） |
3-10mm/s | ||||||||
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速度（X轴） |
测量速度: 0.03-20mm/s; 移动速度: 最大60mm/s | |||||||||
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检出器
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测针, 测力 |
交換式 30mN以下 、与收缩功能 | ||||||||
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测针半径(测针材质) |
25μmR（24°超硬合金） 标准配件 | |||||||||
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测定方向,姿势 |
前?后方向 、上?下 方向 、最大跟踪角：77° | |||||||||
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测量范围 |
驱动部 |
100mm |
200mm | |||||||
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上下 |
226mm |
426mm |
626mm |
226mm |
426mm |
626mm | ||||
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操作台 |
大小 |
600*320mm |
1000*450mm |
600*320mm |
1000*450mm | |||||
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允许装载质量 |
37kg |
28kg |
93kg |
84kg |
31kg |
22kg |
87kg |
78kg | ||
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要素 |
尺寸 |
长 |
1250mm |
1650mm |
1250mm |
1650mm | ||||
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宽 |
800mm |
900mm |
800mm |
900mm | ||||||
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高 |
1480mm |
1680mm |
1880mm |
1480mm |
1680mm |
1880mm | ||||
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重量 |
225kg |
235kg |
420kg |
430kg |
230kg |
240kg |
425kg |
435kg | ||
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电压 |
单相AC100V±10% 50-60HZ/670VA | |||||||||
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